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RIX半導體行業用旋轉接頭/圓晶精磨 MFC系列
規格：
流體：空氣 、真空 *大壓力：-0.095～0.6MPa *大通路數：2 *大轉速：6000min-1 主要途徑與其特點：
精磨、粗磨等各種裝置的真空夾緊時使用。 采用特殊的密封構造、不需要外部注水也能高速旋轉。 還有、低扭矩、低密封磨損和顆粒物產生、具備安定密封特性。 應用端設備對象：精磨/粗磨、晶圓清洗裝置、高速旋轉托盤、感光顯像一體機
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