RIX半導(dǎo)體行業(yè)用旋轉(zhuǎn)接頭/圓晶清洗

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產(chǎn)品名稱: RIX半導(dǎo)體行業(yè)用旋轉(zhuǎn)接頭/圓晶清洗

產(chǎn)品型號(hào): EMF系列

產(chǎn)品廠商: 巖瀨商事

產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

RIX半導(dǎo)體行業(yè)用旋轉(zhuǎn)接頭/圓晶清洗 EMF系列，是專為半導(dǎo)體行業(yè)開發(fā)的，用于供應(yīng)純水和化學(xué)溶液。主回路采用非金屬材料，使其成為*大限度減少金屬離子溶入液體的旋轉(zhuǎn)接頭。

RIX半導(dǎo)體行業(yè)用旋轉(zhuǎn)接頭/圓晶清洗 的詳細(xì)介紹

RIX半導(dǎo)體行業(yè)用旋轉(zhuǎn)接頭/圓晶清洗 EMF系列

規(guī)格：

適用流體：純水、藥液、空氣、真空
*大壓力：-0.095～0.6MPa
*大通路：8
*大轉(zhuǎn)速：250min-1

主要途徑與其特點(diǎn)：

可以真空·干空氣·純水·研磨液等復(fù)數(shù)流體同時(shí)流動(dòng)。
通常應(yīng)用于CMP設(shè)備

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