德國SONOSYS/單雙噴嘴-兆聲波發生器

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產品名稱: 德國SONOSYS/單雙噴嘴-兆聲波發生器

產品型號:

產品廠商: 巖瀨商事

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簡單介紹

德國SONOSYS/單雙噴嘴-兆聲波發生器，德國Sonosys公司專注于兆聲波（Megasonic）技術的研發與應用，其產品在半導體制造中扮演了重要角色，尤其是在高精度清洗和表面處理環節。

德國SONOSYS/單雙噴嘴-兆聲波發生器 的詳細介紹

德國SONOSYS/單雙噴嘴-兆聲波發生器

兆聲波噴嘴中的換能器產生一個兆聲波，通過流動液體（如去離子水）傳輸到基板表面。兆聲波能量集中在2毫米或4毫米的一個小點上。
SONOSYS®兆聲波噴嘴的頻率為：400kHz （新）/ 600 kHz（新）/1兆赫/2兆赫/3兆赫/4兆赫和5兆赫。

無水槽的兆聲波噴嘴系統能夠提供先進的非接觸清洗工藝。

應用：清洗單個晶圓、掩模、LCD、基板和微機電系統（MEMS），以及光學行業中600 kHz的較大顆粒，來自醫療設備和傳感器

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