日本ekusa 半導體用超純水加熱器EHS型
特征:
高純度、可靠性和可維護性
高純度產(chǎn)品
所有與液體接觸的部件均由PFA制成
無雜質(zhì)洗脫
低溫加熱器,壽命長。
可與氫氟酸水一起使用。
可靠性
● *大正常工作壓力為0.4MPa
● 無雜質(zhì)洗脫
● 低溫設計加熱器,壽命長
● 可使用氫氟酸水
維護:
- 使用低溫加熱器,因此壽命是半長久性的,無需更換加熱器。
- 結構緊湊,安裝簡便
- 可以遠程控制。
產(chǎn)品型號:EHS-1、EHS-2、EHS-3、EHS-4、EHS-5、EHS-6
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