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CMP化學產品專用多組分濃度計

如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱: CMP化學產品專用多組分濃度計
產品型號: FUD-1 Model-53
產品廠商: 巖瀨商事
產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

CMP化學產品專用多組分濃度計,易于維護和高精度在線測量,但具有用于半導體制造工藝的小型單元型振蕩器。


CMP化學產品專用多組分濃度計  的詳細介紹

FUJI富士工業 CMP化學產品專用多組分濃度計 FUD-1 Model-53

多組分濃度計特點
可以實時測量三種成分中兩種的濃度模擬DC4-20mA(2線)和數字RS232C是標準設備。
標準配備測量誤差輸出和報警輸出
標準配備自診斷功能和錯誤信息顯示
小型、輕量的單元型發射器可以直接安裝在生產線上。
 
優點
可實現高精度連續測量
免維護,無需定期調整或校準
安裝方便,安裝過程中無需進行各種調整
通過實時輸出輕松反饋流程


目的
CMP工藝中的CMP漿料和氧化劑濃度管理等。
清洗過程中的清洗液濃度管理等(HF+HNO3、HF+H2SiF6等)
蝕刻過程中蝕刻液濃度控制(TMAH+抗蝕劑、TMAH+Si等)

 


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