住友低溫泵可提供維修保養服務

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產品名稱: 住友低溫泵可提供維修保養服務

產品型號: SICERA? Smart KZ-10

產品廠商: 巖瀨商事

產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

住友低溫泵半導體專用可提供維修服務/SICERA? Smart KZ-10低溫泵，是 SHI SICERA Smart 系列中的中型型號。KZ-10 提供專為 PVD ??或離子注入應用設計的版本，其出色的雙逆變器技術可幫助客戶提高生產效率并節省能源，在正常熱負荷運行條件下，*多可支持六 (6) 臺低溫泵與兩 (2) 臺壓縮機配對。

住友低溫泵可提供維修保養服務 的詳細介紹

住友低溫泵半導體專用可提供維修服務/SICERA® Smart KZ-10低溫泵

產品特點：

專為 PVD 應用而設計，其出色的雙變頻器技術可幫助客戶提高生產效率并節省能源

在正常熱負荷運行條件下，*多可支持六 (6) 臺低溫泵與兩 (2) 臺壓縮機配對

應用：

物**相沉積（PVD）、化學氣相沉積（CVD）

離子注入是制造半導體晶圓和其他集成電路至關重要的低溫表面處理工藝

半導體專用：

智能手機和平板電腦（包括內置的加速度計和陀螺儀）

電視、藍光播放器和視頻游戲機

電腦、存儲卡和 USB 閃存盤

汽車導航和**氣囊傳感器、醫療和通信設備、工業機器人等等

住友低溫泵半導體專用可提供維修服務

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