住友低溫泵 半導體真空泵 可提供維修服務SICERA® Smart KZ-04
產品特點：
SICERA® Smart KZ-04 原位冷阱設計特點是將冷板安裝在真空室內
當水蒸氣被捕獲并在 100 K 下冷凝時，這可以實現可變的抽水速度
出色的雙逆變器技術允許在單個水冷壓縮機上混合配置冷阱和低溫泵，從而提高生產效率并節省能源
應用：
物**相沉積（PVD）、化學氣相沉積（CVD）
離子注入是制造半導體晶圓和其他集成電路至關重要的低溫表面處理工藝
半導體專用：
智能手機和平板電腦（包括內置的加速度計和陀螺儀）
電視、藍光播放器和視頻游戲機
電腦、存儲卡和 USB 閃存盤
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