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住友KZ-12低溫泵 可提供維修保養服務/SICERA® Smart KZ-12低溫泵
產品特點：
專為 PVD 應用而設計，其出色的雙變頻器技術可幫助客戶提高生產效率并節省能源
在正常熱負荷運行條件下，*多可支持六 (6) 臺低溫泵與兩 (2) 臺壓縮機配對
應用：
物**相沉積（PVD）、化學氣相沉積（CVD）
離子注入是制造半導體晶圓和其他集成電路至關重要的低溫表面處理工藝
半導體專用：
智能手機和平板電腦（包括內置的加速度計和陀螺儀）
電視、藍光播放器和視頻游戲機
電腦、存儲卡和 USB 閃存盤
汽車導航和**氣囊傳感器、醫療和通信設備、工業機器人等等
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