氣體加熱器 S/M/L系列

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產品名稱: 氣體加熱器 S/M/L系列

產品型號: WEX-S* -2*

產品廠商: 巖瀨商事

產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

WATTY/氣體加熱器 S/M/L系列，半導體·FPD制造用高純度加熱，適合提供熱處理爐用氛，S型流量10，使用溫度300℃。

氣體加熱器 S/M/L系列 的詳細介紹

WATTY/氣體加熱器 S/M/L系列產品特點：

1、S/M/L接線板采用EP管結構
?接頭和配管的連接部位為全不銹鋼（SUS316L）制。
?被加熱槽在不接觸加熱器表面的情況下被加熱。在清潔的配管內移送過程中，在清潔的狀態下被加熱。

2、小型輕量高效率
?分別實現*佳規格，*小流量10L/min~*大流量100L/min，*高使用溫度可達到300℃的產品。

3、標準配備熱電偶、恒溫器
?標準裝備有溫度控制、防止過升溫的考慮。接線也很簡單。

4、入口/出口接頭可更改
?標準接頭為UJR1/4Female賽斯。
?對應1/4~1/2刀槽的入口/出口刀槽

仕様

タイプ	Sタイプ		Mタイプ		Lタイプ
タイプ	WEX-S* -2*	WEX-S* -3*	WEX-M* -2*	WEX-M* -3*	WEX-L* -3*
加熱可能流體	不活性ガス
*高使用溫度	200℃	300℃	200℃	300℃	300℃
定格流量	?10L/min		?50L/min		?100L/min
定格容量	130W	190W	400W	560W	1300W
*大動作圧力	0.5Mpa
標準継手	UJR"1/4メス				UJR"3/8メス
接ガス部材質	SUS316L（WEP仕様）
リークレート	1 × 10¹⁰Pa??/sec以下
電源	AC100又はAC200
熱電対	Kタイプクラス2
サーモスタット	ディスク型	ブロック型	ディスク型	ブロック型	ブロック型
本體外形寸法（H×W×D）	75×75×98	96×102×128	125.5×100×115	155.5×130×145	178×150×165
本體重量	約1kg	約1.2kg	約2kg	約2.3kg	約4kg
結線方法	コネクタ取出し	リード線2m	コネクタ取出し	リード線2m	コネクタ取出し
標準付屬品	※1	※4	※2	※5	※3

※1 サーモ?電源用コネクタ×1 K熱電対用コネクタ×1 取付金具×1
※2 サーモ?電源用コネクタ×1 K熱電対用コネクタ×1 取付金具×2

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