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IWAKI易威奇/波紋管泵/化學補給泵CFD系列

如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱: IWAKI易威奇/波紋管泵/化學補給泵CFD系列
產品型號: CFD-1T-B
產品廠商: 巖瀨商事
產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

IWAKI易威奇/波紋管泵/化學補給泵 CFD系列，用于補充半導體工藝中的強酸和強堿清洗。

IWAKI易威奇/波紋管泵/化學補給泵CFD系列  的詳細介紹

IWAKI易威奇/波紋管泵/化學補給泵 CFD系列        產品特點：

●可控制圓晶清洗濃度的控制

●優異的耐腐蝕性

所有接液部件均由氟樹脂（PTFE、PFA、PCTFE）制成，與強酸、強堿、過氧化氫等化學溶液兼容


IWAKI易威奇/波紋管泵/化學補給泵 CFD系列        產品參數：

模型 CFD-1T-B CFD-8T-B
*大排放量 1mL/次注1 8mL/注注2
供氣壓力 0.15～0.3MPa
*大耗氣量 2.5NL/分鐘 5.4NL/分鐘
*大行程數 30次/分鐘
主要成分 PTFE、PFA、PCTFE
液體溫度范圍 20~60℃

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