FETA3000BC
定格入力：AC170 ～ 264V 1Φ
定格出力電力：3000W
出力電圧：250V
高電力密度（2.11W / cm3）を実現(xiàn)したフロントエンド電源
低背型（1U サイズ）
高効率（250V 出力：93.0% ： lo=50%時）
出力電圧範囲 DC180 ～ 350V
高速応答
高調波電流規(guī)制対応（IEC61000-3-2 クラスA準拠）
半導體製造裝置規(guī)格対応（SEMI F47）
並列運転 / N+1 冗長運転可能
各種機能搭載
?電源FAILアラーム搭載
?リモートコントロール機能
機種名
出力電力
出力電圧?電流
FETA3000BC-250
3000W
250V 12A
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