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真空設(shè)備

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產(chǎn)品名稱: 真空設(shè)備
產(chǎn)品型號: SRC-100V
產(chǎn)品廠商: 巖瀨商事
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

研究開発

真空設(shè)備  的詳細(xì)介紹

■研究開発、小ロット生産に適した小型?高性能ロールコーターです。プラズマ処理、スパッタ及び蒸著のユニットがあります。

研究開発用ロールコーター

主仕様

到達(dá)圧力 ×10?5 Pa
真空計 BAゲージ、キャパシタンスマノメーター
ワークサイズ W100mm×L200ｍ×t 50～100um
送り速度 0.2～4m/min (CW/CCW 可能)
真空槽 SUS304 　Ｗ500×Ｈ850×Ｄ450㎜
ロールコーン φ250　水冷式
軸シール 磁気シール使用
成膜前プラズマ処理 13.56ＭＨｚ ＲＦ電極　×１式
蒸発源 ① 70×200　ＤＣマグネトロン型　　×２式まで
② 抵抗蒸発源
主ポンプ ＴＭＰ　1100L/s
水分排気 ＣＲＹＯスーパートラップ
プロセスガス Ar , O2 , N2 , マスフローコントローラ使用
床面積 4㎡
ユーティリティ ?AC200V 3φ 100A 　　?冷卻水
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