PHIL佐藤真空_SDP-10_油擴(kuò)散泵
PHIL佐藤真空_SDP-10_油擴(kuò)散泵
PHIL佐藤真空_SDP-10_油擴(kuò)散泵
PHIL佐藤真空_SDP-10_油擴(kuò)散泵
PHIL佐藤真空_SDP-10_油擴(kuò)散泵
特長
高真空度が必要とされる場合に採用される真空ポンプで、10-5Paが安価に得られます。熱せられた拡散オイルがノズルから噴射されることにより発生する超音速のジェット噴流によって、高真空域まで排気します。単獨(dú)運(yùn)転はできず、油回転真空ポンプをバックポンプとして、組合せて使用します。なお、組合せて排気セットとした製品は真空裝置內(nèi)の高真空排気裝置をご參照ください。
仕様表
|
型 式
|
排気速度
|
到達(dá)圧力*2
|
油逆流量
|
油量
|
電源
|
電力
|
始動時(shí)間
|
所要水量
|
臨界背圧
|
質(zhì)量
|
|
(1.3×10-3Pa時(shí))
|
|
L/sec
|
Pa
|
mg/cm2min
|
mL
|
V/φ
|
W
|
min
|
L/min
|
Pa
|
kg
|
|
バッフル無/有
|
バッフル無/水冷バッフル付
|
|
SDP-2
|
125/58
|
×10-5
|
×10-2/×10-4
|
50
|
100/1
|
0.33
|
15
|
0.5
|
20
|
4
|
|
SDP-2A*1
|
58
|
7.5×10-4
|
4.7
|
|
SDP-3
|
280/150
|
×10-2/×10-4
|
100
|
100/1
|
0.5
|
20
|
1.0
|
6
|
|
SDP-3A*1
|
150
|
7.5×10-4
|
7.5
|
|
SDP-4
|
380/215
|
×10-2/×10-4
|
150
|
100/1
|
0.7
|
20
|
1.5
|
8
|
|
SDP-4A*1
|
215
|
7.5×10-4
|
10
|
|
SDP-6
|
810/465
|
×10-2/×10-4
|
340
|
200/1
|
1.0
|
20
|
3.0
|
15
|
20
|
|
SDP-8
|
1450/790
|
×10-2/×10-4
|
500
|
200/1
|
1.4
|
25
|
4.0
|
30
|
|
SDP-10
|
2070/1200
|
×10-2/×10-4
|
820
|
200/1
|
1.9
|
25
|
5.0
|
41
|
|
SDP-14
|
3600/2350
|
×10-2/×10-4
|
1600
|
200/3
|
4.5
|
30
|
7.0
|
120
|
*1 SDP-2A,SDP-3A,SDP-4Aは空冷式です。
*2 使用作動油： ライオンS
國內(nèi)免費(fèi)咨詢專線：4008-933-365
_油擴(kuò)散泵
PHIL佐藤真空_SDP-2A*1_油擴(kuò)散泵
PHIL佐藤真空_SDP-2A*1_油擴(kuò)散泵
PHIL佐藤真空_SDP-2A*1_油擴(kuò)散泵
PHIL佐藤真空_SDP-2A*1_油擴(kuò)散泵
特長
高真空度が必要とされる場合に採用される真空ポンプで、10-5Paが安価に得られます。熱せられた拡散オイルがノズルから噴射されることにより発生する超音速のジェット噴流によって、高真空域まで排気します。単獨(dú)運(yùn)転はできず、油回転真空ポンプをバックポンプとして、組合せて使用します。なお、組合せて排気セットとした製品は真空裝置內(nèi)の高真空排気裝置をご參照ください。
仕様表
|
型 式
|
排気速度
|
到達(dá)圧力*2
|
油逆流量
|
油量
|
電源
|
電力
|
始動時(shí)間
|
所要水量
|
臨界背圧
|
質(zhì)量
|
|
(1.3×10-3Pa時(shí))
|
|
L/sec
|
Pa
|
mg/cm2min
|
mL
|
V/φ
|
W
|
min
|
L/min
|
Pa
|
kg
|
|
バッフル無/有
|
バッフル無/水冷バッフル付
|
|
SDP-2
|
125/58
|
×10-5
|
×10-2/×10-4
|
50
|
100/1
|
0.33
|
15
|
0.5
|
20
|
4
|
|
SDP-2A*1
|
58
|
7.5×10-4
|
4.7
|
|
SDP-3
|
280/150
|
×10-2/×10-4
|
100
|
100/1
|
0.5
|
20
|
1.0
|
6
|
|
SDP-3A*1
|
150
|
7.5×10-4
|
7.5
|
|
SDP-4
|
380/215
|
×10-2/×10-4
|
150
|
100/1
|
0.7
|
20
|
1.5
|
8
|
|
SDP-4A*1
|
215
|
7.5×10-4
|
10
|
|
SDP-6
|
810/465
|
×10-2/×10-4
|
340
|
200/1
|
1.0
|
20
|
3.0
|
15
|
20
|
|
SDP-8
|
1450/790
|
×10-2/×10-4
|
500
|
200/1
|
1.4
|
25
|
4.0
|
30
|
|
SDP-10
|
2070/1200
|
×10-2/×10-4
|
820
|
200/1
|
1.9
|
25
|
5.0
|
41
|
|
SDP-14
|
3600/2350
|
×10-2/×10-4
|
1600
|
200/3
|
4.5
|
30
|
7.0
|
120
|
*1 SDP-2A,SDP-3A,SDP-4Aは空冷式です。
*2 使用作動油： ライオンS
國內(nèi)免費(fèi)咨詢專線：4008-933-365
