KAIJO楷捷_振動器/兆聲波晶圓清洗機

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產品名稱: KAIJO楷捷_振動器/兆聲波晶圓清洗機

產品型號: 64210VS

產品廠商: 巖瀨商事

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簡單介紹

KAIJO楷捷_振動器/兆聲波晶圓清洗機 的詳細介紹

KAIJO楷捷_64210VS_振動器/兆聲波晶圓清洗機

使い易さにこだわった　フェニックスⅢシリーズ

このフェニックスⅢはこれらの“面倒な手間と費用”を大幅に削減できます。
“こんな洗浄機があったら！？“を実現した、*新の機能満載の超音波洗浄機です。
しかも、洗浄シーンを知りぬいたカイジョーのノウハウをつぎ込んでいます。

○　高洗浄力で定評のフェニックスのノウハウを継承
○　ＣＰＵ制御の採用で周波數制御機能が向上
○　高度な動作管理/レシピ対応が可能
○　洗浄機の管理機能を搭載、しかも外部端子付
○　製造方法を見直し、性能をＵＰさせ価格はDOWN
○　価格が下がっても、洗浄性能や耐久性はしっかり確保！

■フェニックスⅢ組合

周波數	出力	組合型名	発振器名	洗浄槽型名	投込振動子型名
３８ｋＨｚ	６００Ｗ	CA-64801VS3	64113	64801VS	－
		C-64200VS3		－	64200VS
		C-64210VS3		－	64210VS
	１２００Ｗ	CA-74801VS3	74113	74801VS	－
		CA-74802VS3		74802VS	－
		C-74200VS3		－	74200VS
		C-74209VS3		－	74209VS
		C-74210VS3		－	74210VS
２６ｋＨｚ	６００Ｗ	CA-6353VS3	63113	6353VS	－
		CA-6353VS3		6359VS	－
		C-6356VS3		－	6356VS
	１２００Ｗ	CA-7359VS3	73113	7359VS	－
		C-7356VS3		－	7356VS
		CA-73209VS3		－	73209VS

■フェニックスⅢ発振器仕様

発振器型式	フェニックスⅢ　３８ｋHz		フェニックスⅢ　２６ｋHz
発振器型式	64113型	74113型	63113型	73113型
*大出力	６００Ｗ	１２００Ｗ	６００Ｗ	１２００Ｗ
周波數	３８ｋＨｚ±１５％		２６ｋＨｚ±１５％
発振モード	周波數制御／単周波発振／スイーブ発振
電源電圧	ＡＣ２００Ｖ，２０８Ｖ，２２０Ｖ，２３０Ｖ，２４０Ｖ切替式
電源電流	６Ａ	１０Ａ	６Ａ	１０Ａ
外形寸法 (W×D×Hmm)	３５０×４４０×１６５

■フェニックスⅢ用標準振動子

投込振動子型式	フェニックスⅢ　３８ｋHz					フェニックスⅢ　２６ｋHz
投込振動子型式	64200VS	64210VS	74200VS	74209VS	74210VS	6356VS	7356VS	73209VS
許容入力	６００Ｗ		１２００Ｗ			６００Ｗ	１２００Ｗ
周波數	３８ｋＨｚ					２６ｋＨｚ
外形寸法 (W×D×Hmm)	320X 220X80	450X 245X80	380X 355X80	500X 280X80	480X 450X80	360X 220X90	410X 390X90	500X 280X90

■フェニックスⅢ用標準洗浄槽

洗浄槽型式	フェニックスⅢ　３８ｋHz			フェニックスⅢ　２６ｋHz
洗浄槽型式	64801VS	74801VS	74802VS	6353VS	6359VS	7359VS
許容入力	６００Ｗ	１２００Ｗ		６００Ｗ		１２００Ｗ
共振周波數	３８ｋＨｚ			２６ｋＨｚ
外形寸法 (W×D×Hmm)	３７０×２７０ ×４０２	４３０×４０５ ×４０２	５５０×５２０ ×４５２	３７０×２７０ ×４０２	４８０×３４０ ×４０２	４５０×４３０ ×４０２
槽深さ（Hmm)	２４７	２４７	３００	２４７	２４７	２４７

組合せ方法：投込振動子、洗浄槽、振動板は、発振器の出力および作動周波數と同じ値の許容入力/共振周波數のものと組み合わせてください。

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KAIJO楷捷_振動器/兆聲波晶圓清洗機

■フェニックスⅢ組合

■フェニックスⅢ発振器仕様

■フェニックスⅢ用標準振動子

■フェニックスⅢ用標準洗浄槽

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